在万物互联的时代浪潮中，传感器作为物联网、工业互联网、大数据与人工智能等前沿技术的核心元器件，正成为推动产业智能化升级的关键基石。而微机电系统（英文：Micro-Electro-Mechanical System，以下简称等优势，随着国家重大装备性能和人民生活质量提升的双重需求，在传感器应用领域愈发重要。

　　对MEMS的探索可起源于20世纪50年代，一直以来，生产制造是MEMS产业链的最关键环节。MEMS源于集成电路的工艺基础，线mm为主，虽然不像半导体先进制程达到28nm以下，但MEMS元器件结构相对复杂，除了延用集成电路的成熟工艺以外还需引入特殊工艺。MEMS传感器芯片本质上是在硅片上制造极微小化机械系统和集成电路的集合体，加工工艺具有明显的非标准化和定制化特征，制造的工艺水平基本上决定了MEMS产品的基准性能，并且对供应链体系支撑有较高的要求，从特定角度来说，MEMS工艺要求、MEMS定制化设备需求比集成电路要更高，因而MEMS晶圆制造决定了MEMS的产业化上限。

　　2025年10月22日至24日，第六届中国MEMS制造大会暨微纳制造与传感器展览会将在苏州国际博览中心隆重举行。这场多年来紧紧围绕MEMS“制造”的专业展会，聚焦传感器前沿技术与产业发展，将再次汇聚全球顶尖专家与创新成果，为MEMS制造领域带来全新发展机遇，助力产业生态繁荣发展。

　　该大会由中国唯一的MEMS行业权威组织——中国半导体行业协会MEMS分会主办，自2019年起已连续成功举办五届。大会延续高规格、强阵容、广影响的行业定位，在展览规模、产业链覆盖等方面实现了全面升级。

　　MEMS器件及模组、加工装备、纳米压印、微制程技术、初试/量产代工、特殊工艺平台、键合/解键合设备、分析检测、特种封装、MEMS融合接合技术、下一代光刻技术、感知元器件、执行器、各类传感器等。

　　铌酸锂/PZT/稀有金属靶材等各类电子原材料、晶圆硅片、碳化硅/氮化镓/氧化镓等第三四代半导体材料、玻璃基板、光刻胶、特气供应、制备耗材等。

　　精密分析仪器、科学试验装置、智能仪表、试验机与力学检测设备、精密测量与测试、光学检测、质量检测、量子化计量技术、先进计量测试技术、校准与检测、第三方认证等。

　　多传感器融合解决方案、人工智能技术、物联网技术、算法及通讯模组、人形机器人、电子皮肤，灵巧手等。

　　目前，展区汇聚200多家MEMS全产业链知名企业单位，部分参展企业包括：歌尔、敏芯、明皜、汉威等MEMS器件设计企业；MEMSRIGHT、纳米所加工平台、晶方半导体、九峰山实验室、芯动科技等20余家量产/代工企业；胜科纳米、米格实验室、中国机械总院、计量所等测试分析企业；南智光电、松山湖实验室、化合积电等上游原材料企业；KLA、ULVAC、卡尔蔡司、奥林巴斯、Park等国内外设备企业。

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　　展区将吸引2万+来自MEMS产业的精准观众，一同探讨行业趋势、寻找合作机会、拓展商业网络。参展企业可以全方位呈现MEMS制造全产业链的科研成果和最新动态，与潜在客户面对面交流，一站式满足上下游客户需求，从而建立长期稳定的合作关系。观众可以深入了解MEMS制造领域行业动态、学习先进技术经验、寻找优质的合作伙伴。

　　经过连续五年的举办，China MEMS 中国MEMS制造大会已经成为中国MEMS行业内最知名的品牌会议之一，大会在推动国际国内MEMS技术创新和促进产业链资源整合方面发挥了关键作用。

　　本次大会设置的制造主题会场将完善上下游报告嘉宾资源，聚焦MEMS传感器全产业链生态，深度解析投资机遇、核心材料、关键设备、先进设计、精密制造、高端封测及系统集成等核心环节。同时，大会将打造“MEMS+”概念，设立具身感知专题论坛，聚焦智能传感器在工业与消费领域的创新应用，深入探讨行业领军企业对高性能传感技术的核心诉求，推动MEMS技术跨行业融合与规模化落地。此外，大会深度嵌入国际知名传感器企业和行业组织，邀请海外企业高层共同探讨MEMS产业国际合作新格局。

　　大会将表彰2024年中国MEMS产业发展的前十位企业，以龙头企业为引领，激发MEMS行业良性竞争和产业发展活力，推动中国MEMS产业在全球范围内实现弯道超车。

　　大赛将采用“行业赛、地区赛相结合”的方式，先后在苏州、西安、深圳、北京举办６场初赛，并将于10月21日在苏州举办总决赛，展示MEMS领域的创新活力和创业热情。

　　苏州工业园区已连续多年获评“中国MEMS产业第一园”，缘何苏州可以集聚几乎MEMS全产业链企业？作为MEMS设计/制造领域的年度盛会，组委会精心筹备了“MEMS+游学行”活动，带您走进MEMS创新企业总部，了解MEMS产业沃土，亲身体验科技的无限魅力！

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